SCOUT 薄膜分析軟件
SCOUT是一款適用于 Windows 7/8/10 操作系統(tǒng)的薄膜分析軟件。大多數(shù)客戶通常使用它比較測(cè)量光譜與模擬光譜，以從光學(xué)測(cè)量中提取信息。仿真是基于物理模型，即光譜是基于材料常數(shù)(復(fù)折射率)和幾何形狀(層厚度)的假設(shè)計(jì)算的。參數(shù)擬合成功后，得到了光學(xué)常數(shù)和層厚值。
所得結(jié)果與光學(xué)模型的質(zhì)量直接相關(guān)。原廠在光學(xué)常數(shù)模型的開發(fā)上投入了大量的工作和經(jīng)驗(yàn)。此外，處理典型薄膜缺陷的理論，如表面粗糙度或深度梯度已被整合。分析成功的另一個(gè)因素是 SCOUT 擁有與真正光譜儀相同的出錯(cuò)能力：你可以考慮入射角分布、有限光斑大小或偏差的影響。
SCOUT可以用于科研，也可以用于工業(yè)上的實(shí)時(shí)生產(chǎn)控制。它可以自行測(cè)量，驅(qū)動(dòng)光譜儀硬件，也可以連接到一個(gè)測(cè)量系統(tǒng)來接收被測(cè)量的光譜進(jìn)行分析。全球有一些光譜儀公司使用SCOUT作為薄膜分析的綜合分析工具。
可以計(jì)算以下類型的光譜：
? 反射率(或它的任何用戶自定義函數(shù))
? 透光率(或它的任何用戶自定義函數(shù))
? 吸光度(或它的任何用戶自定義函數(shù))
? ATR(或它的任何用戶定義的函數(shù))
? 橢圓光度法
? 光致發(fā)光
? 電致發(fā)光
SCOUT — 光學(xué)模型
光學(xué)常數(shù)模型
? 自由載流子的經(jīng)典Drude模型
? 自由載流子的擴(kuò)展Drude模型
? 諧振子模型
? brendel擴(kuò)展振子模型
? Kim擴(kuò)展振蕩器模型
? Leng振子模型
? 非晶態(tài)材料的OJL帶間躍遷模型
? 晶態(tài)材料的Tauc-Lorentz帶間躍遷模型
? 光學(xué)常數(shù)(包括選擇定義柯西模型)的用戶定義表達(dá)式
? 輸入光學(xué)常數(shù)
非均勻材料的各種有效介質(zhì)理論
? Maxwell Garnett (M G) 理論
? Bruggeman理論
? Looyenga 理論
? Bergman 表征
波在層疊中的傳播
? 分波的相干或非相干疊加
? 超晶格的簡(jiǎn)單定義
? 修正粗糙表面的散射損耗
? 非均勻厚度層的有效平均算法—理想狀態(tài)下的相干和非相干疊加
? 逐漸變化光學(xué)屬性的簡(jiǎn)單定義
? 任意數(shù)量的層
? 任意數(shù)量的層堆疊
可計(jì)算
? 反射(或它的任何用戶自定義函數(shù))
? 透光率(或它的任何用戶自定義函數(shù))
? 吸光度(或它的任何用戶自定義函數(shù))
? ATR(或它的任何用戶自定義函數(shù))
? 橢圓光度法
? 對(duì)圖案樣品進(jìn)行光譜平均
? 光致發(fā)光
? 致發(fā)光
? 任意數(shù)量的光譜
? 在某一層的吸收
? 層組的片電阻
? 吸收的深度依賴性
? 電場(chǎng)深度依賴性
SCOUT — 參數(shù)擬合
? 鼠標(biāo)驅(qū)動(dòng)滑塊運(yùn)動(dòng)直觀展示“visual”參數(shù)變化
? 多維參數(shù)預(yù)掃描(“網(wǎng)格擬合”)
? 自動(dòng)參數(shù)擬合，以調(diào)整模擬測(cè)量光譜
? 全局主參數(shù)控制任意數(shù)量的模型參數(shù)-使參數(shù)可以耦合
? 同時(shí)擬合多個(gè)光譜，如反射率和透射率
? 使用一系列適配參數(shù)集的用戶自定義適配策略
? 輸入光譜集的自動(dòng)批量擬合
SCOUT — 其他功能
? 選中光譜的用戶自定義視圖無數(shù)量限制，光學(xué)常數(shù)或參數(shù)顯示在主窗口，任意位圖和元文件可作為背景圖片、插圖和解釋。
? 輸出到打印機(jī)，元文件，位圖，PDF文檔或剪貼板
? 集成計(jì)時(shí)器，觸發(fā)事件和執(zhí)行用戶定義動(dòng)作的自動(dòng)化腳本實(shí)現(xiàn)了強(qiáng)大的自動(dòng)化功能。除了實(shí)現(xiàn)復(fù)雜的計(jì)算和實(shí)時(shí)動(dòng)畫，您還可以自動(dòng)采集數(shù)據(jù)：檢測(cè)新樣本的到達(dá)，根據(jù)樣本移動(dòng)光譜儀系統(tǒng)，在指定位置獲取光譜并將結(jié)果存儲(chǔ)在數(shù)據(jù)庫中。
? 集成模塊解決硬件組件，如光譜儀(OceanOptics、HunterLab、tec5、Avantes、JETI)、1~3維驅(qū)動(dòng)器(移動(dòng)物體)和傳感器(溫度、顏色)。
? 通過OLE自動(dòng)化遠(yuǎn)程控制SCOUT：使用MS Word、MS Excel、LabView或Windows Scripting Host (WSH)或Bruker OPUS VB-Scripts創(chuàng)建自動(dòng)報(bào)告和批處理操作
? 包括光學(xué)常數(shù)的大型數(shù)據(jù)庫
? SCOUT與MySQL和Microsoft SQL server數(shù)據(jù)庫結(jié)合使用，交換完整的程序配置、光學(xué)常數(shù)、層堆棧、光譜和樣本信息
SCOUT — 屏幕截圖
SCOUT — 主窗口啟動(dòng)
光學(xué)常量模型教學(xué)
同時(shí)擬合8個(gè)光譜
批量擬合示例：玻璃上鍍銀
批處理控制窗口顯示結(jié)果
